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在真空冷却工序中，防止被冷却物的漰沸且实现冷却时间的缩短，且实现用于处理槽内的减压机构的水及蒸汽的使用量的削减。在将收纳在处理槽内的被冷却物真空冷却时，依次地执行将处理槽内减压到设定压力（Ｐ１）的急冷工序、将减压能力降低到比该急冷工序低而将...
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