下载基板支撑装置及基板清洗装置的技术资料

文档序号:39300168

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本发明揭示了一种基板支撑装置及基板清洗装置。基板支撑装置包括:两个支撑机构,围绕一预定中轴线对称分布;每个支撑机构配置一个驱动机构,其中,驱动机构包括:驱动器,用于推动两个支撑机构相互远离以释放基板;复位弹簧,用于拉动两个支撑机构相互靠近以...
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