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本实用新型公开了一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，包括靶芯组件，该靶芯组件包括靶芯、靶材和靶芯法兰盘，靶芯安装在靶芯法兰盘内，靶材位于靶芯的末端，还包括固定法兰和弹簧压紧装置，靶芯组件安装在固定法兰内、且靶芯法兰盘压在固定法兰上；弹簧压...
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