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一种变形镜制造技术
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下载一种变形镜的技术资料
文档序号:39247546
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本公开提供一种变形镜,包括基座9、驱动机构、镜面1,驱动机构包括多个驱动柱13,多个所述驱动柱13呈阵列化排布于所述基座9上,并且每一所述驱动柱13的底部与所述基座9进行紧配;所述镜面1上下表面镀有反射膜,所述镜面1的下表面通过极头2与所述...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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