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本实用新型涉及半导体技术领域，具体为晶粒扩膜机，所述控制机构上通过安装座活动安装有扩晶环，在扩晶环上设有若干侧挂板，且若干侧挂板上设有同一个固定板，在固定板上可升降的设置有用于扩膜作业的压盘，控制机构上可升降的设置有固定座，在固定座上设有顶...
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