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本实用新型涉及一种温场升降旋转水冷机构，包括上端延伸至晶体生长炉炉内的旋转主轴，旋转主轴套置于主轴导向套中，主轴导向套下方设置波纹管，所述的波纹管套置于旋转主轴上，波纹管与主轴导向套之间设置氟橡胶O型密封圈，旋转主轴中同轴布置有进水管，进水...
该专利属于合肥露笑半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥露笑半导体材料有限公司授权不得商用。

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