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本发明公开了一种基于磷化铟单晶的制备系统及制备方法，涉及磷化铟制备技术领域。本发明包括单晶抛光结构，单晶抛光结构的驱转组件与固定座之间同轴心转动连接，曲面抛光机构均设于活动座表面且与其转动连接，驱转组件与其周侧的多个曲面抛光机构相啮合，单向...
该专利属于苏州中砥半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中砥半导体材料有限公司授权不得商用。

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