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本发明公开了用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器，所述高精度小口径大曲率半径凸非球面为待测非球面；其特征在于，所述补偿器整体为旋转对称结构，补偿器内沿同一光轴依次排列三个单透镜组成透镜组，所述三个单透镜均为抛光球面，且沿光线入...
该专利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海现代先进超精密制造中心有限公司授权不得商用。

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