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本申请实施例提供了一种粗糙度的测量方法、测量装置及相关设备，其中方法包括：获取光刻图案的图像；基于所述光刻图案的图像，确定光刻图案的边缘位置数据；将所述边缘位置数据转换为实际位置数据，所述实际位置数据与所述光刻图案的实际尺寸相对应；根据所述...
该专利属于北京华睿新能动力科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华睿新能动力科技发展有限公司授权不得商用。

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