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层叠基板的制造方法和基板处理装置制造方法及图纸
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下载层叠基板的制造方法和基板处理装置的技术资料
文档序号:39179762
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层叠基板的制造方法包括下述(A)~(D)。(A),在第一半导体基板的表面形成包含氧化层的接合层。(B),使所述接合层的所述氧化层与第二半导体基板接触,并藉由所述接合层将所述第一半导体基板与所述第二半导体基板进行接合。(C),在进行所述接合之...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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