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本发明公开一种简化制备霍尔棒的光刻方法，具体步骤包括：制备薄膜、旋涂、前烘、曝光、中烘、显影、一次水洗、后烘、制备薄膜、二次水洗。本发明在传统步骤中旋涂光刻胶之前生长一层易溶于水的铝酸锶薄膜层，然后使用蒸馏水将铝酸锶薄膜层洗掉制得霍尔棒，省...
该专利属于昆明理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过昆明理工大学授权不得商用。

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