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本实用新型公开了一种组合式晶圆检测传感器，包括气动执行元件、固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件、固定在连接件上的可拆卸的固定块、以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；多个光电...
该专利属于江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。

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