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一种悬浮槽锯齿形一维光子晶体制造技术
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文档序号:39140383
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本发明提供一种悬浮槽锯齿形一维光子晶体,应用于折射率传感器,包括条形波导,条形波导的两侧面均刻蚀有锯齿形的侧晶格,条形波导包括第一反射区、渐变区和第二反射区,第一反射区和第二反射区内等间距刻蚀有多个圆柱形的第一晶格;渐变区内沿着其光路方向间...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。
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