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一种通过ALD循环的实施来形成沸石膜的方法，ALD循环包括氧化硅膜形成工序和氧化铝膜形成工序。氧化硅膜形成工序使用有机Si化合物作为第一原料气体，使用OH自由基作为反应气体，氧化铝膜形成工序使用有机Al化合物作为第二原料气体，使用OH自由基...
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