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本实用新型公开了一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体与用于排液的排液管路连通承漏装置，可拆卸的设于杯体的内部并用于存放可伸出承漏装置的喷淋装置，承漏装置的下端部与排液管路连通，以使喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置流...
该专利属于江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。

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