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本发明涉及一种电子级六氯乙硅烷的合成及精制的方法，具体是，将三氯硅烷原料与保护气进入原料缓冲罐混合，得到的混合气在紫外光光源的照射下发生催化合成反应，反应得到的产物进行冷凝分离，气相的三氯甲烷返回原料缓冲罐继续参与合成反应，冷阱中的混合液升...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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