下载一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置的技术资料

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本实用新型涉及半导体制备技术领域,且公开了一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置,包括生长管、底座、放置架、舟型器皿、籽晶,所述底座固定安装在生长管的内壁,所述放置架设置在底座的顶部,所述放置架分为上下两层,所述放置架的外部设置有固定装置。该水平...
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