下载一种多层石墨烯中离子注入深度精确标定方法的技术资料

文档序号:39001491

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本发明属于离子注入领域,具体涉及一种多层石墨烯中离子注入深度精确标定方法,具体为将某厚度的石墨烯纳米片均匀分散在电镜载网上;使用特定参数的团簇注入方法,对电镜载网上的石墨烯纳米片进行团簇注入;对电镜载网上注入团簇的石墨烯纳米片进行厚度标定,...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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