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本发明提供一种能够高精度地输出所期望的目标波长的光的波长可变干涉滤波器。该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，其隔着预定的间隔而与第一基板对置；第一反射膜，其被设置在第一基板上；第二反射膜，其被设置在第二基板上，并隔着第一间隔而与第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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