下载硅片吸取组件和转运设备的技术资料

文档序号:38983866

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种硅片吸取组件和转运设备。硅片吸取组件包括:连接座;多个吸盘,吸盘用于吸附硅片,多个吸盘沿第一方向间隔排列设置在连接座上,以在相邻两个吸盘之间形成用于容置硅片的吸附空间,吸盘具有相互独立的负压通路和正压通路,且吸盘朝向吸附...
该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。