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本实用新型公开了一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体,所述箱体顶端固定插设有注液管,所述箱体内顶部固定连接有过滤盒,所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板,所述过滤板上设有安装口,所述安装口内固定连接有过滤网,所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸,所...该专利属于靖江新恒和半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过靖江新恒和半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体,所述箱体顶端固定插设有注液管,所述箱体内顶部固定连接有过滤盒,所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板,所述过滤板上设有安装口,所述安装口内固定连接有过滤网,所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸,所...