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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用导气座，涉及导气装置技术领域，其技术方案要点是：包括有连接管，连接管一侧设置有环形限位盘，连接管远离限位盘一侧依次连接有支撑环，第一紧锁环和第二紧锁环，第一紧锁环上阵列有若干螺栓，螺栓朝向支撑环设置，螺栓...
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