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质量分析装置及其控制方法制造方法及图纸
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文档序号:38972534
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本公开的目的在于提供一种质量分析装置及其控制方法,能够降低由交流电压的控制电路的发热引起的质量轴的偏移。本公开的质量分析装置具备被施加交流电压的四极电极(111)和控制所述交流电压的电压值的控制部(100),在将所述四极电极(111)用作质...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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