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本申请涉及晶圆加工技术领域，具体公开一种门阀结构及晶圆加工设备。门阀结构包括门阀本体和挡板，门阀本体具有第一过孔，挡板设置于门阀本体的一侧，挡板具有第二过孔，第二过孔的面积小于第一过孔的面积，且第二过孔在门阀本体的正投影落入第一过孔所在区域...
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