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本发明提供一种晶圆磁流变超精密加工的设备，由上座、两个连杆、两个锁紧螺母、下座、晶圆、盖板、励磁装置和研磨盘组成，本发明的优点在于：励磁装置安装在研磨盘上，跟随研磨盘旋转，转速可调，可以实现磁场的实时更新，晶圆粘贴在下座的表面，工件在超精密...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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