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本实用新型涉及机械加工技术领域，且公开了一种硅片晶圆加工用气缸压盘装配体，包括加压盘，加压盘的上端设置有固定座，且固定座的上端设置有自制气缸，且自制气缸的上端设置有驱动装置，且驱动装置对应自制气缸的中间位置设置有气缸活塞杆，该加压旋转气缸通...
该专利属于南通元兴智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通元兴智能科技有限公司授权不得商用。

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