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上海钊晟传感技术有限公司
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一种具有参考光束的高稳定激光位移传感器制造技术
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文档序号:38951385
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本发明提出一种激光位移传感器,包括激光器、发射镜、半反半透镜、反射镜、滤光片、接收镜、光电器件、测量电路、外壳、插座和电缆等元件。本发明的激光位移传感器在发射镜组前端加入一个半反半透镜,分出一束激光形成参考光束。该参考光束通过一块反射镜反射...
该专利属于上海钊晟传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海钊晟传感技术有限公司授权不得商用。
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