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基板切割设备和基板切割方法技术
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文档序号:3894694
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用于切割基板的基板切割设备,包括:用于在基板上形成切割线的切割线形成装置;以及用于沿所述切割线断开基板的断开装置。所述断开装置包括用于喷射温度足以使得基板在基板上所形成的切割线上膨胀的热流体的装置,从而使得从切割线延伸的竖直裂纹沿基板的厚度...
该专利属于三星宝石工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星宝石工业株式会社授权不得商用。
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