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本发明涉及一种抛光液供给系统及晶圆抛光机，该抛光液供给系统应用于晶圆抛光机，该抛光液供给系统包括：中心轴，开设有进液流道；及第一转动件，转动连接于中心轴，开设有出液流道，出液流道用于连通供液通道；进液流道连通出液流道。因为进液流道、出液流道...
该专利属于浙江晶盛创芯半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛创芯半导体设备有限公司授权不得商用。

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