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本发明公开了一种晶圆缺陷的检测方法及系统，步骤1、获取晶圆正面的图像以及晶圆背面的编码图像；步骤2、对获取的正面图像和背面编码进行降噪滤波处理，并对处理后的图像进行校正；步骤3、提取校正后晶圆正面图像中的初步损伤特征；步骤4、采用图像形态学...
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