下载具有pGaN插入结构的GaNHEMT器件以及制作方法的技术资料

文档序号:38912674

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本发明提供了一种具有pGaN插入结构的GaNHEMT器件,包括:衬底、沟道层、势垒层、源极金属层、栅极以及漏极金属层;一个或两个以上的第一P型插入结构,形成于P
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