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本实用新型公开了一种静电吸附台板，包括：台板本体；隔水膜，至少部分覆盖所述台板本体；电源，与所述台板本体电连接，用于为所述台板本体供电。本实用新型在台板本体上增加隔水膜，能够将台板本体与环境中的水汽隔开，避免了在潮湿的环境下绝缘材料的导电性...
该专利属于信利光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利光电股份有限公司授权不得商用。

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