温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了带电粒子系统和用于使用带电粒子的多束处理样品的方法。在一种布置中，柱将带电粒子的子束的多束引导到样品的样品表面上。样品在平行于第一方向的方向上移动，同时柱用于在平行于第二方向的方向上在样品表面之上重复扫描多束。因此利用每个子束处理样品...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。