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本发明提供一种微机电系统和头万向节组件。在本发明一实施例中，用于滑块动力学电力测试的悬架包括用于支承头滑块的微机电系统。该微机电系统具有用于保持头滑块的夹具，被外力移动的夹具能附接或拆卸头滑块。该悬架包括限制器以用于限制夹具的横向移动。限制...
该专利属于日立环球储存科技荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立环球储存科技荷兰有限公司授权不得商用。

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