温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种喷淋头以及基板处理装置，与以往相比能够提高处理的均一性，并能够实现装置的小型化，另外能够迅速且准确地调整处理空间内的压力。该喷淋头（１００）由将下侧部件（１）、中间部件（２）和上侧部件（３）层叠的层叠体（１０）构成。在下侧部件...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。