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一种拉晶系统和硅氧化物收集方法技术方案
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下载一种拉晶系统和硅氧化物收集方法的技术资料
文档序号:38875477
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本公开涉及一种拉晶系统和硅氧化物收集方法,该拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元,硅氧化物收集单元的入口与拉晶炉的内部连通,硅氧化物收集单元的出口与气体回收单元的入口连通,硅氧化物收集单元能够对来自拉晶炉的气体中的硅氧化物进...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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