下载一种拉晶系统和硅氧化物收集方法的技术资料

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本公开涉及一种拉晶系统和硅氧化物收集方法,该拉晶系统包括拉晶炉、硅氧化物收集单元以及气体回收单元,硅氧化物收集单元的入口与拉晶炉的内部连通,硅氧化物收集单元的出口与气体回收单元的入口连通,硅氧化物收集单元能够对来自拉晶炉的气体中的硅氧化物进...
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