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本实用新型公开了一种刻蚀设备分子泵拆装辅助装置，所述装置包括U型底座、主框架、万向轮组、加强筋、滑动轴承、复位弹簧、液压顶升装置、用于承放刻蚀设备分子泵的升降平台、平台支撑柱、液压泵，所述主框架上还外伸设置有U形的用于安装升降平台的平台框架...
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