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本发明提供了一种提升旋转图案盘定位精度的步进电机控制方法，包括转动虚位误差控制方法，转动虚位误差控制方法能够在步进电机带动旋转盘转动时自动补偿虚位误差，使图案盘转动时降低或者消除传动结构间隙造成的误差问题，大大提升了图案盘的旋转定位精度，使...
该专利属于杭州罗莱迪思科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州罗莱迪思科技股份有限公司授权不得商用。

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