下载半导体结构的制作方法和半导体结构的技术资料

文档序号:38828999

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种半导体结构的制作方法和半导体结构。该方法包括:首先,提供基底,基底至少包括依次层叠的衬底、外延层、栅氧化层以及位于栅氧化层的远离衬底的部分表面上的栅极;之后,在基底的裸露表面上依次形成层叠的第一介质层和氧化层;之后,至少去除...
该专利属于苏州华太电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州华太电子技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。