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本公开实施例提供一种硅通孔检测电路及方法，硅通孔检测电路包括待测硅通孔、等效可调电阻及反向输出电路；待测硅通孔的第一端连接等效可调电阻的第二端，第二端接地；反向输出电路的输入端与待测硅通孔的第一端连接；方法包括：将等效可调电阻的阻值调节至第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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