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本申请涉及一种晶圆保持机构及沉积设备，属于半导体制造领域。包括：承载基座，用于承载晶圆；晶圆固定环，与承载基座相对设置；承载基座和晶圆固定环中至少之一能够做靠近另一的运动，以将晶圆固定在承载基座和晶圆固定环之间；承载基座和晶圆固定环中至少之...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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