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本发明提出了一种电池片用双面PECVD系统及沉积方法，用以解决目前电池片薄膜沉积步骤复杂，容易损坏硅片以及薄膜沉积质量差的问题。一种电池片用双面PECVD系统，包括反应箱，反应箱内对称设有电极，其中上方的电极为阴极，下方的电极为阳极，两个电...
该专利属于山东泉为新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东泉为新能源科技有限公司授权不得商用。

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