下载一种晶圆盒传输机构的技术资料

文档序号:38805319

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆盒传输机构,其技术方案要点是:包括输送皮带,输送皮带的下侧面边缘固定设置有多个均匀排列的夹取机构,夹取机构包括升降杆,升降杆的下端固定有水平的夹取杆,夹取杆可进行伸缩调节,且夹取杆的一端与升降杆的下端部固定连接,夹取...
该专利属于晋康精密机械(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晋康精密机械(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。