温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，属于晶圆干燥设备技术领域，所述升降机构包括：抵止组件、感应块、安装条、保护组件、以及感应组件，抵止组件在接触到保护组件时，保护组件被触发，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置，对第...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。