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本实用新型公开一种CMP修整盘柔性连接装置，涉及化学机械抛光技术领域，包括：安装盘以及柔性盘，安装盘与柔性盘拼接形成摆动腔，柔性盘通过中心螺钉与中心轴固定连接，且中心螺钉的螺帽位于摆动腔内，安装盘对应中心螺钉的螺帽处设置有定位环，定位环与中...
该专利属于亿元达(天津)机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亿元达(天津)机电科技有限公司授权不得商用。

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