温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种螺旋波等离子体粒子注入辅助容性耦合等离子体放电装置，其包括螺旋波等离子体粒子发生系统、多级容性耦合等离子体放电系统、以及粒子筛；本发明的目标粒子前驱体通过右螺旋半波长天线和永磁铁的作用，形成放电气体，通过粒子筛对其进行粒子筛...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。