下载一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统及方法的技术资料

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本发明涉及一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统,包括管理服务器、手持式PDA扫码数据终端和蓝牙模块;蓝牙模块安装在化学品设备上,并与化学品设备的PLC交互数据,对化学品设备的门进行控制;蓝牙模块与手持式PDA扫码数据终端通信连接,蓝牙模块设...
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