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一种真空蒸镀装置制造方法及图纸
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下载一种真空蒸镀装置的技术资料
文档序号:38733287
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本实用新型公开了一种真空蒸镀装置。该真空蒸镀装置包括蒸发舟,设有多个用于容纳镀膜材料的蒸镀空间,蒸镀空间设有蒸发口;阻蒸电极柱,能够与电源导通,阻蒸电极柱用于对蒸发舟进行加热;调节板,转动设置于蒸发口;真空镀膜厚度测量仪,真空镀膜厚度测量仪...
该专利属于华能新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华能新能源股份有限公司授权不得商用。
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