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本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种半导体检测机台的承载盘辅助工具，包括承载盘和机台手臂，其特征在于：所述承载盘通过调节组件与所述机台手臂可拆卸连接，所述承载盘上开设有用于适配所述机台手臂的承载槽，所述调节组件包括适配主体、对称设于所述...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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