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微晶粒加工设备及微晶粒加工方法技术
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文档序号:38727685
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本发明公开了一种微晶粒加工设备,适于对透明载板上的多个微晶粒进行加工。此微晶粒加工设备包括移动式载台、光学修整模块、光罩微缩投影扫描光学模块、摄影装置及控制单元,其中光罩微缩投影扫描光学模块包括移动式光罩及扫描振镜模块。移动式载台适于承载透...
该专利属于雷杰科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过雷杰科技股份有限公司授权不得商用。
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